Apa itu target tantalum?
Tantalum Target adalah bahan yang terbuat dari logam tantalum atau paduan tantalum dengan kemurnian tinggi, yang terutama digunakan dalam berbagai proses deposisi film tipis . tantalum target dikenal karena resistensi korosi yang sangat baik, titik peleburan tinggi dan biokompatibilitas, dan banyak hal-halan yang digunakan dalam banyak hal seperti elektronik, dan biokompatibilitas, dan biokompatibilitas, dan semak-semak, seperti halnya. peralatan .
Sifat fisik dan kimia
Sifat fisik utama target tantalum meliputi:
Titik Melting: 3290K (3017 derajat)
Titik didih: 5731k (5458 derajat)
Kepadatan: 16.68g/cm³
Kekerasan: Kekerasan Tinggi, Daktilitas dan Tahan Korosi
Stabilitas Kimia: Tantalum tidak bereaksi dengan Aqua Regia, cocok untuk pembuatan peralatan kimia dan perangkat medis
Metode persiapan
Metode persiapan target tantalum biasanya mencakup langkah -langkah berikut:
1. Bubuk Metalurgi: Metode reduksi termal natrium digunakan untuk menghasilkan bubuk tantalum dengan ukuran partikel 2-3 mikron .
2. Penekan isostatik dingin: Penekanan isostatik dingin dilakukan pada bubuk tantalum dalam paket lateks, dengan tekanan yang lebih besar dari 200 MPa dan waktu penahanan lebih besar dari 20 menit.
3. sintering: sintering dilakukan dalam kondisi vakum lebih besar dari 1*10^-2 MPa dan suhu lebih besar dari 2400 derajat, dengan waktu penahanan lebih besar dari 1 . 5 h.
4. Rolling and Heat Treatt: Billet tantalum yang disinter digulung dan dipanaskan panas untuk mendapatkan target tantalum .
Area aplikasi
Target tantalum banyak digunakan, terutama termasuk:
1. Industri elektronik dan semikonduktor: Digunakan sebagai bahan lapisan penghalang dalam pembuatan sirkuit terintegrasi, terutama dalam teknologi interkoneksi tembaga, di mana titik leleh tinggi Tantalum dan resistansi rendah menjadikannya pilihan yang ideal .
2. Lapisan anti-korosi: Karena ketahanan korosi yang sangat baik, tantalum digunakan untuk melapisi peralatan kimia dan permukaan logam yang terpapar pada lingkungan yang ekstrem untuk memperluas masa pakai peralatan .
3. film optik dan optoelektronik: tantalum target dapat digunakan untuk membuat film dengan properti optik tertentu dan banyak digunakan dalam perangkat optik, tampilan dan sensor .
4. Perangkat medis: tantalum memiliki biokompatibilitas yang baik dan cocok untuk melapisi implan medis seperti pelat tulang dan prostesis bersama untuk mengurangi reaksi penolakan manusia .